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蔡司三坐標測量機的測量過程,是由測頭通過三個坐標軸導軌在三個空間方向自由移動實現(xiàn)的，在測量范圍內(nèi)可到達任意一個測點。三個軸的測量系統(tǒng)可以測出測點在X，Y，Z三個方向上的精確坐標位置。
根據(jù)被測幾何型面上若干個測點的坐標值即可計算出待測的幾何尺寸和形位誤差。另外，在測量工作臺上，還可以配置繞Z軸旋轉(zhuǎn)的分度轉(zhuǎn)臺和繞X軸旋轉(zhuǎn)的帶頂尖座的分度頭，以方便螺紋、齒輪、凸輪等的測量